П. С. Комаров, Е. В. Струлева, С. А. Евлашин, С. И. Ашитков
- Объединенный институт высоких температур РАН, Россия, 125412 Москва, ул. Ижорская, 13, стр. 2
- Сколковский институт науки и технологий, Россия, 121205 Москва, Большой бульвар, 30, стр. 1
Аннотация: Методом интерференционной и атомно-силовой микроскопии были исследованы особенности абляции нанопленок никеля различной толщины на кремниевых подложках после однократного воздействия лазерных импульсов длительностью 70 фс с интенсивностью 1012 -1015 Вт/см на воздухе. Определены значения порогов по поглощенной плотности энергии при разрыве внутри пленки и при ее отрыве от подложки. Для образцов толщиной 30 и 125 нм выявлены различия в характере зависимости глубины кратеров от плотности энергии нагревающих импульсов в широком диапазоне значений.
Ключевые слова: фемтосекундный лазерный импульс, абляция, тонкие пленки, никель.
Поступила в редакцию: 06.11.2025
Принята в печать: 06.11.2025
Образец цитирования: П. С. Комаров, Е. В. Струлева, С. А. Евлашин, С. И. Ашитков, “Режимы одноимпульсной абляции пленок никеля нанометровой толщины фемтосекундными лазерными импульсами”, Квантовая электроника , 55 : 11 (2025), 687-692
Скачать (.pdf)