Г. И. Грейсух, Е. Г. Ежов, А. И. Антонов, В. А. Данилов, Б. А. Усиевич
- Пензенский государственный университет архитектуры и строительства
- Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН
- Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
Аннотация: Методы оценки параметров рельефно-фазовых дифракционных микроструктур (локального и интегрального Q-факторов) распространены на случай многослойных двухрельефных пилообразных микроструктур, что обеспечивает возможность выбора наилучших комбинаций оптических материалов для многослойных микроструктур при весьма незначительных затратах компьютерного времени. Предложен подход к исследованию многослойных микроструктур, основанный на совместном использовании Q-факторов и метода строгого анализа связанных волн, который позволил оценить предельные спектральные и угловые характеристики многослойных микроструктур различных типов.
Ключевые слова: дифракционный оптический элемент, многослойная рельефно-фазовая дифракционная микроструктура, дифракционная эффективность, скалярная и строгая теории дифракции
Поступила в редакцию: 18.02.2020
Исправленный вариант: 19.03.2020
Образец цитирования: Г. И. Грейсух, Е. Г. Ежов, А. И. Антонов, В. А. Данилов, Б. А. Усиевич, “Предельные спектральные и угловые характеристики многослойных рельефно-фазовых дифракционных микроструктур”, Квантовая электроника, 50:7 (2020), 623–628 [Quantum Electron., 50:7 (2020), 623–628]