Г. Н. Вишняков, А. Д. Иванов, Г. Г. Левин, В. Л. Минаев
- Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, г. Москва
- Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
Аннотация: Проведено численное моделирование процесса измерения напряженно-деформированных состояний методом сдвиговой спекл-интерферометрии с использованием метода фазовых шагов. Разработана компьютерная модель с возможностью задания ее деформации и шероховатости, в которую входит модель диффузно отражающего тест-объекта, соответствующая по характеристикам реальной мембране, а также модель спекл-интерферометра, позволяющая получать спекл-интерферограммы при различных размерах спеклов и углов между интерферирующими пучками. Реализован процесс восстановления топограммы поверхности объекта по модельным спекл-интерферограммам методом фазовых шагов. С помощью разработанных моделей получена двумерная шерограмма, представляющая собой производную от поля деформации круглой мембраны. Сопоставление результатов численного моделирования с экспериментальными данными показало, что различия (среднеквадратичные отклонения) не превышают 0.02 мкм. Также показано, что погрешность реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов значительно возрастает при деформациях тест-объекта более 12 мкм
Ключевые слова: спекл-интерферометрия, шерография, метод фазовых шагов, напряженно-деформированные состояния, моделирование.
Поступила в редакцию: 18.02.2020
Исправленный вариант: 29.03.2020
Образец цитирования: Г. Н. Вишняков, А. Д. Иванов, Г. Г. Левин, В. Л. Минаев, “Сдвиговая спекл-интерферометрия с использованием метода фазовых шагов”, Квантовая электроника, 50:7 (2020), 636–642 [Quantum Electron., 50:7 (2020), 636–642]