Эффективность генерации излучения в полосе 8–14 нм ионами криптона при импульсном лазерном возбуждении

Аннотация: Исследованы спектры излучения плазмы криптона в диапазоне 8–14 нм при возбуждении импульсной газовой струи излучением Nd :YAG-лазера с энергией импульса 0.85 Дж при длительности 5.2 нс, частоте следования 10 Гц и длине волны излучения 1.06 мкм. Спектр излучения криптона представляет собой широкую (8–14 нм) полосу с максимумом на длине волны 10.3 нм, образованную рядом значительно более узких линий. Проведена идентификация наблюдаемых линий и определена доля энергии лазерного импульса, преобразованная в эмиссионную полосу 8–14 нм и излученная в полупространство (2π ср). Максимальный коэффициент конверсии составил 21%. Осуществлено сравнение ожидаемой производительности литографических систем с источниками на основе ионов Sn, Xe и Kr для разных длин волн, соответствующих максимумам эмиссионных полос ионов этих материалов.

Ключевые слова: лазерная искра, плазма криптона, экстремальное ультрафиолетовое излучение, импульсная газовая мишень, коэффициент конверсии, литография.