Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении

Аннотация: Измерены абсолютные интенсивности спектральных линий ионов Kr, Ar и O (газ СО2), представляющие интерес для рефлектометрии, микроскопии и литографии в диапазоне длин волн 10–18 нм. Использовалось импульсное возбуждение Nd : YAG-лазером с длиной волны излучения λ = 1064 нм, энергией импульса 0.8 Дж и его длительностью 5.2 нс при частоте следования импульсов 10 Гц. Формирование мишеней происходило при истечении газа через импульсное сверхзвуковое коническое сопло при давлении газов на входе в него 3.5 бар. Подробно описаны спектрометр на основе многослойных рентгеновских зеркал и процедура его калибровки. Измерены абсолютные интенсивности спектральных линий Kr IX (λ = 11.5 нм, число фотонов N= 9.3 × 1012 фотон./имп.), Ar VIII (λ = 13.84 нм, N = 3 × 1012 фотон./имп.) и O VI (λ = 12.98 нм, N = 5.17 × 1012 фотон./имп.). Проведено сравнение результатов с данными, полученными для ионов Xe в тех же экспериментальных условиях на тех же длинах волн.

Ключевые слова: экстремальное УФ излучение, спектры излучения, лазерная искра, спектрометр, многослойное рентгеновское зеркало.