И. А. Артюков – QUANTUM ELECTRONICS

Оптическая и рентгеновская микролитография на рубеже веков

И. А. Артюков Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва Аннотация: Представлен обзор развития методов промышленной фотолитографии на основе эксимерных лазеров и проекционной рентгеновской литографии в конце XX века – начале XXI века. Отражён вклад Н.Г.Басова и его коллег в ФИАНе и МИФИ в развитие этого направления. Ключевые слова: фотолитография, рентгеновская… Read More »

Плотность энергии и спектр электромагнитных импульсов с одним и менее периодами поля

И. А. Артюков, А. В. Виноградов, Н. В. Дьячков, Р. М. Фещенко Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва Аннотация: На основе точного решения уравнений Максвелла в виде схлопывающейся векторной сферической волны, задаваемой произвольной функцией времени, рассчитана максимальная плотность энергии, достижимая при фокусировке экстремально коротких импульсов различной формы. Показано, что полученная нами ранее… Read More »