ВУФ генерация в водороде и фторе в диффузных разрядах, формируемых убегающими электронами

Аннотация: Проведено исследование параметров вынужденного ВУФ излучения, генерируемого при диффузных разрядах, формируемых в резко неоднородном электрическом поле в смесях инертных газов с добавками водорода и фтора при давлении до 10 атм. Получена эффективная ВУФ генерация на молекулярных переходах водорода (148 – 161 нм) и фтора (157 нм). Показано, что добавки буферных газов гелия и неона увеличивают длительность импульсов и энергию генерации Н₂-лазера. Получены лазерные импульсы длительностью более 10 нс при энергии излучения 0.1 мДж. Установлено, что в смесях Не с F₂ диффузный разряд формируется за счет волн ионизации. Показано, что импульс генерации на длине волны 157 нм имеет три максимума, которые соответствуют первым трем полупериодам тока диффузного разряда. Установлено, что в зависимости от состава и давления смеси наибольшую интенсивность имеет первый или второй пик генерации. При давлении смеси 10 атм электрический КПД генерации F₂-лазера составил 0.18 %, что превышает эффективность известных лазеров данного типа, накачиваемых объемным разрядам с предыонизацией от дополнительного источника.

Ключевые слова: эффективная ВУФ генерация, диффузный разряд, неоднородное электрическое поле, убегающие электроны