{"id":1452,"date":"2022-11-08T12:17:34","date_gmt":"2022-11-08T09:17:34","guid":{"rendered":"https:\/\/quantum-electron.lebedev.ru\/?p=1452"},"modified":"2023-11-13T16:06:07","modified_gmt":"2023-11-13T13:06:07","slug":"sintez-ftoruglerodnyh-nanoplenok-na-titane-s-pomoshhju-izlucheniya-moshhnogo-krf-lazera","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/sintez-ftoruglerodnyh-nanoplenok-na-titane-s-pomoshhju-izlucheniya-moshhnogo-krf-lazera\/","title":{"rendered":"\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0433\u043e KrF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430"},"content":{"rendered":"<p>\u041f. \u0411. \u0421\u0435\u0440\u0433\u0435\u0435\u0432, \u0410. \u041d. \u041a\u0438\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d\u043a\u043e, \u041a. \u0421. \u041a\u0440\u0430\u0432\u0447\u0443\u043a, \u041d. \u0412. \u041c\u043e\u0440\u043e\u0437\u043e\u0432, \u0420. \u0410. \u0425\u043c\u0435\u043b\u044c\u043d\u0438\u0446\u043a\u0438\u0439<\/p>\n<ul>\n<li>\u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041f. \u041d. \u041b\u0435\u0431\u0435\u0434\u0435\u0432\u0430 \u0420\u0410\u041d, \u0433. \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430<\/li>\n<li>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0433. \u0422\u0440\u043e\u0438\u0446\u043a, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430<\/li>\n<\/ul>\n<div class=\"around-button\"><b>\u0410\u043d\u043d\u043e\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f:<\/b> \u041e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 (C : F) \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e 60 \u043d\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u043e\u0432. \u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0435 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0441\u043b\u0430 (\u0424\u041c) \u043d\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 0.6 \u0441\u043c<sup>2<\/sup> \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c KrF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 4 \u0414\u0436\/\u0441\u043c<sup>2<\/sup> \u0432 \u0438\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u0430\u0445 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 80 \u043d\u0441. \u041f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c C : F-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0439 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430\u0441\u044c \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0438 \u0432 \u0441\u043e\u0442\u043d\u0438 \u0440\u0430\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0444\u0442\u043e\u0440\u043e\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0430 \u0424-4. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0424\u041c \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0436\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043e\u0432.<\/div>\n<div class=\"around-button\"><b>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435\u00a0\u0441\u043b\u043e\u0432\u0430:<\/b> <i>\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, C : F-\u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438, \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d, \u0444\u0442\u043e\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0441\u043b\u043e, KrF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440, \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/i><\/div>\n<div class=\"around-button\"><b>\u041f\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0438\u043b\u0430 \u0432 \u0440\u0435\u0434\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e:<\/b> 18.08.2020<br \/>\n<b>\u0418\u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442:<\/b> 27.09.2020<\/div>\n<div class=\"around-button\"><b>\u0410\u043d\u0433\u043b\u043e\u044f\u0437\u044b\u0447\u043d\u0430\u044f \u0432\u0435\u0440\u0441\u0438\u044f:<\/b><br \/>\n<a class=\"SLink\" title=\"DOI: https:\/\/doi.org\/10.1070\/QEL17420\" href=\"https:\/\/doi.org\/10.1070%2FQEL17420\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">Quantum Electronics, 2020, <b>50<\/b>:12, 1173\u20131178<\/a><\/div>\n<div><\/div>\n<div><b>\u041e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0435\u0446 \u0446\u0438\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f:<\/b> \u041f.\u00a0\u0411.\u00a0\u0421\u0435\u0440\u0433\u0435\u0435\u0432, \u0410.\u00a0\u041d.\u00a0\u041a\u0438\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d\u043a\u043e, \u041a.\u00a0\u0421.\u00a0\u041a\u0440\u0430\u0432\u0447\u0443\u043a, \u041d.\u00a0\u0412.\u00a0\u041c\u043e\u0440\u043e\u0437\u043e\u0432, \u0420.\u00a0\u0410.\u00a0\u0425\u043c\u0435\u043b\u044c\u043d\u0438\u0446\u043a\u0438\u0439, \u201c\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0433\u043e KrF-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430\u201d, <i>\u041a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/i>, <b>50<\/b>:12 (2020), 1173\u20131178 [<i>Quantum Electron.<\/i>, <b>50<\/b>:12 (2020), 1173\u20131178]<\/div>\n<div><a href=\"https:\/\/quantum-electron.lebedev.ru\/wp-content\/uploads\/2020\/12\/1173.pdf\">\u0421\u043a\u0430\u0447\u0430\u0442\u044c<\/a> (.pdf)<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u041f. \u0411. \u0421\u0435\u0440\u0433\u0435\u0435\u0432, \u0410. \u041d. \u041a\u0438\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d\u043a\u043e, \u041a. \u0421. \u041a\u0440\u0430\u0432\u0447\u0443\u043a, \u041d. \u0412. \u041c\u043e\u0440\u043e\u0437\u043e\u0432, \u0420. \u0410. \u0425\u043c\u0435\u043b\u044c\u043d\u0438\u0446\u043a\u0438\u0439 \u0424\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0438\u043c. \u041f. \u041d. \u041b\u0435\u0431\u0435\u0434\u0435\u0432\u0430 \u0420\u0410\u041d, \u0433. \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430 \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0438\u0442\u0443\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0433. \u0422\u0440\u043e\u0438\u0446\u043a, \u041c\u043e\u0441\u043a\u0432\u0430 \u0410\u043d\u043d\u043e\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f: \u041e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u0435\u043d \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 (C : F) \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e 60 \u043d\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u043e\u0432. \u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0435\u2026 <span class=\"read-more\"><a href=\"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/sintez-ftoruglerodnyh-nanoplenok-na-titane-s-pomoshhju-izlucheniya-moshhnogo-krf-lazera\/\">Read More &raquo;<\/a><\/span><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[161],"tags":[1195,368,207,367,1196],"class_list":["post-1452","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-primeneniya-lazerov-i-drugie-voprosy-kvantovoj-elektroniki","tag-a-n-kirichenko","tag-k-s-kravchuk","tag-n-v-morozov","tag-p-b-sergeev","tag-r-a-hmelnickij"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1452","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1452"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1452\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1452"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1452"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/quantum-electronics.ru\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1452"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}