П. Б. Сергеев, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов
- Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
- Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, г. Троицк, Москва
Аннотация: Экспериментально показано, что при лазерном отжиге микронных слоев фторуглеродного масла импульсами излучения мощного KrF-лазера на поверхности лейкосапфира можно синтезировать C:F-нанопокрытия с толщинами до ~100 нм. Измеренные в диапазоне 0.19 – 6 мкм спектры поглощения этих покрытий практически совпали со спектрами поглощения фторографена в области энергии квантов 5 ± 1 эВ. Нанотвердость и модуль упругости C : F-нанопокрытий равнялись 7 и 250 ГПа соответственно, что близко к характеристикам фторографена.
Ключевые слова: C : F-нанопокрытие, спектр поглощения, лазерная плазма, KrF-лазер, лейкосапфир, фторуглеродное масло.
Поступила в редакцию: 20.10.2021
Исправленный вариант: 09.01.2022
Принята в печать:09.01.2022