Сверление в алмазе отверстий в виде песочных часов диаметром менее 100 мкм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов

Автор: | 16.11.2022
Нет комментариев

Б. Джонг, Б. Ли, Ч. Х. Ким, Ч. А. Чой, Ч. Янг, Е. Г. Салль, Ч. В. Ким, Д. Хо, Дж. Джанг, Г. Х. Ким, В. Е. Яшин

  • Electro-Medical Device Research Center, Korea Electrotechnology Research Institute, Republic of Korea
  • Department of Creative IT Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea
  • GK UP, Republic of Korea
  • School of Interdisciplinary Bioscience and Bioengineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea
  • АО “Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова”, г. С.-Петербург
Аннотация: Представлены изображения микроотверстий в алмазе, полученных с помощью созданного нами фемтосекундного Yb : KGW-лазера. Использовался фемтосекундный лазерный источник с длительностью импульса излучения 230 фс на длине волны 1030 нм и размером пятна фокусировки 8.9 мкм. Проведена оценка влияния энергии и числа импульсов на геометрию микроотверстий (их диаметр, форму, угол конуса), а также на качество сверления. Продемонстрирована возможность сверления в образце алмаза отверстий в виде песочных часов, которые имеют одинаковые диаметры на входе (92 мкм) и на выходе (95 мкм) и гораздо меньший диаметр (28 мкм) суженной части внутри отверстия.
Ключевые слова: фемтосекундный лазер, лазер ультракоротких импульсов, лазерная микрообработка, лазерное сверление, алмаз.
Поступила в редакцию: 18.07.2019
Исправленный вариант: 14.10.2019
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2020, 50:2, 201–204
Образец цитирования: Б. Джонг, Б. Ли, Ч. Х. Ким, Ч. А. Чой, Ч. Янг, Е. Г. Салль, Ч. В. Ким, Д. Хо, Дж. Джанг, Г. Х. Ким, В. Е. Яшин, “Сверление в алмазе отверстий в виде песочных часов диаметром менее 100 мкм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 50:2 (2020), 201–204 [Quantum Electron., 50:2 (2020), 201–204]