Е. И. Маврешко, А. А. Фроня, Г. В. Тихоновский, М. С. Григорьева, И. Н. Завестовская
Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, Россия, г. Москва
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Россия, г. Москва
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», Россия, Москва
Аннотация: Представлены результаты экспериментального определения порогов абляции пористого и монокристаллического кремния в водной и воздушной среде при воздействии фемтосекундного лазерного излучения с энергией в импульсе 1 – 10 мкДж, длиной волны 1032 нм, длительностью импульса 270 фс, частотой повторения импульсов 100 кГц, размером пятна фокусировки 50 мкм. Присутствие водной среды приводило к снижению порога лазерной абляции. Наблюдалась тенденция к снижению порога абляции с увеличением пористости образцов. Проведено исследование морфологии образцов, в результате чего выявлены различные модификации поверхности в зависимости от энергии лазерного излучения и окружающей среды.
Образец цитирования: Е. И. Маврешко, А. А. Фроня, Г. В. Тихоновский, М. С. Григорьева, И. Н. Завестовская, “Особенности фемтосекундной лазерной абляции слоев пористого кремния в водной среде”, Квантовая электроника, 56:1 (2026), 41–45