Предельные спектральные и угловые характеристики многослойных рельефно-фазовых дифракционных микроструктур
Г. И. Грейсух, Е. Г. Ежов, А. И. Антонов, В. А. Данилов, Б. А. Усиевич Пензенский государственный университет архитектуры и строительства Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва Аннотация: Методы оценки параметров рельефно-фазовых дифракционных микроструктур (локального и интегрального Q-факторов) распространены на случай многослойных двухрельефных пилообразных микроструктур, что обеспечивает… Читать далее »