Я. С. Лебедева, П. А. Смирнов, И. А. Будаговский, А. В. Ромашкин, К. Г. Никитин, И. В. Сагунова, В. Б. Пестова, А. А. Шерченков, П. И. Лазаренко, М. П. Смаев
- Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498 Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1
- НПК «Технологический центр», Россия, 124498 Москва, Зеленоград, пл. Шокина, 1, стр. 7
- Физический институт им. П.Н.Лебедева РАН, Россия, 119991 Москва, Ленинский просп., 53
Аннотация: Фазопеременные материалы активно используются в области нанотехнологий и микроэлектроники благодаря способности обратимо переключаться между аморфным и кристаллическим состояниями, изменяя при этом свои электрические и оптические свойства. Тройное соединение Ge2Sb2Te5, наиболее изученное и широко применяемое среди фазопеременных материалов, состоит из двух бинарных теллуридов – GeTe и Sb2Te3, каждый из которых является перспективным фазопеременным соединением. Нами рассмотрена модификация тонких аморфных пленок GeTe и Sb2Te3 непрерывными лазерными пучками различной структуры: эрмит-гауссовыми модами HG00 и HG01, векторными пучками, оптическим вихрем. Анализ облученных областей проводился на основе оценок яркости оптических изображений и спектроскопии комбинационного рассеяния, которые позволили сделать вывод о перспективности пучков с кольцевым профилем интенсивности для создания оптимального профиля нагрева и достижения более однородной кристаллизации в сравнении с HG00. Для всех типов пучков индуцированные лазером структурные изменения, проявившиеся в существенном изменении спектров комбинационного рассеяния, сопровождались заметным изменением оптического контраста (отражательной способности) для теллурида германия и много меньшим – для теллурида сурьмы.
Ключевые слова: фазопеременные материалы, лазерная кристаллизация, оптическая микроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния, GeTe, Sb2Te3, эрмит-гауссовы пучки, векторные пучки.
Поступила в редакцию: 18.11.2025
После доработки: 25.11.2025
Принята в печать: 25.11.2025
Образец цитирования: Я. С. Лебедева, П. А. Смирнов, И. А. Будаговский, А. В. Ромашкин, К. Г. Никитин, И. В. Сагунова, В. Б. Пестова, А. А. Шерченков, П. И. Лазаренко, М. П. Смаев, «Фотоиндуцированная кристаллизация аморфных пленок GeTe и SbTe лазерными пучками различной структуры», Квантовая электроника , 55 : 12 (2025), 782-790
Скачать (.pdf)