Получение плёнок фторида кальция методом импульсного лазерного осаждения с последующим отжигом в атмосфере тетрафторида углерода

Аннотация: Представлено исследование методики получения тонкой плёнки фторида кальция (CaF₂) методом импульсного лазерного осаждения в условиях сверхвысокого вакуума с последующей термической обработкой в атмосфере тетрафторида углерода (CF₄). Осаждение проводилось на поверхность монокристаллического кремния Si(100) при комнатной температуре. Изучено влияние термического отжига на электронные свойства плёнки. Для оценки качества осаждённого слоя применялись методы рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии характеристических потерь энергии электронов (СХПЭЭ), позволившие выявить изменения в электронной структуре, подтвердить высокую чистоту плёнки и низкое количество дефектов после отжига. Также был определён оптимальный режим аттестации качества плёнки путём сравнения полученных с помощью СХПЭЭ спектров плёнки и эталонного кристалла CaF₂ при разных энергиях пучка электронов (100 – 500 эВ). Полученные данные показывают возможность использования предложенной методики для формирования высококачественной плёнки CaF₂ как широкозонного диэлектрика для перспективных применений, включая имплантацию тория.

Ключевые слова: фторид кальция, импульсное лазерное осаждение, тонкие плёнки, спектроскопия характеристических потерь энергии электронов.